Caroline
Унифицированное семейство промышленного оборудования Caroline, построенное на единой технологической платформе, состоит из 11 установок различного назначения для нанесения и травления тонких пленок. Применяется для производства микроприборов различного назначения.
Нанесение
Ионное травление
Плазмохимическое травление
Плазмостимулированное осаждение
