Caroline

Унифицированное семейство промышленного оборудования Caroline, построенное на единой технологической платформе, состоит из 11 установок различного назначения​ для нанесения и травления тонких пленок. Применяется для производства микроприборов различного назначения.

Нанесение

 

D12A                         D12A1 

     

D12B                          D12B1                       D12B2                      D12B3

D12c

Ионное травление

IE12

Плазмохимическое травление

PE12                  pE15

Плазмостимулированное осаждение

PECVD