Оборудование

Машины (установки) для нанесения тонких пленок на керамические, кремниевые и другие подложки в вакууме методами магнетронного, термического и электронно-лучевого распыления, а так же для ионного и плазмохимического травления.

Caroline	Irida	Solvac
для гибридной микроэлектроники	для полупроводниковой микроэлектроники	для оптических, декоративных и других покрытий

Оборудование применяется в микроэлектронике при производстве гибридных микросхем, полупроводниковых проборов, в том числе при производстве БИС, СБИС, МЭМС, и т.д.

Произведено и реализовано более 100 единиц оборудования.