Solvac

Установки напыления оптических, декоративных и других функциональных покрытий

Параметры		D19	EBD
Размещение изделий		На столе 1500х900 мм	В карусели Кнудсена до 12 пластин Ø200мм
Технология		ITO, TiO2, TiN, Al, Ag, SiO2
Нагрев, °С		300	350
Устройства для обработки		3 магнетрона и источник ионов	Электронно-лучевой испаритель
Направление обработки		Сверху вниз	Снизу вверх
Неравномерность, %		до 10	5
Вакуумная система		Полностью безмасляная
Номинальная мощность, кВт		20
Занимаемая площадь (ДхШ), м		8,5х3,5	4х4
Необходимые коммуникации		Вода: 0,6 м3/час; Воздух: 5 атм.; O2 и Ar и др.: 1.5 атм.