Термообработка в вакууме до 1400°С.
Размер обрабатываемых изделий до 150х150х300.
Вакуум до 8х10-5 Па.
Обработка круглых подложек диаметром 76, 100 мм.
Заказ должен обеспечивать загрузку оборудования более 50%.