Irida

Установки напыления металлов и травления для полупроводниковой микроэлектроники

Параметры		D21A	PE
Загрузка, шт.	Ø76	4
	Ø200	1
Технология		W, Cr-Au, Cr-Cu, Cr-Cu-Au, Ti-Pt-Au	RIE, PE
Нагрев, °С		300	нет
Устройства для обработки		3 магнетрона и источник ионов*	TCP антенна
Направление обработки		Сверху вниз
Неравномерность, %		3
Способ загрузки		Опции: шлюз или перегрузчик
Номинальная мощность, кВт		10
Занимаемая площадь (ДхШ), м		4х2
Необходимые коммуникации		Вода: 0,6 м3/час; Воздух: 5 атм.; O2 и Ar и др.: 1.5 атм.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

* - запатентованная конструкция  (патент №2490369)