Автоматизированная установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления Caroline D12A1
Назначение:
Вакуумно-технологическая установки «CarolineD12А1» предназначена для магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления на керамические, кремниевые, ситаловые и другие плоские (толщина не более 30 мм.) подложки размером до Ø 100 мм.
Мишени на магнетронах располагаются горизонтально. Над ними располагается карусель, вращающаяся в горизонтальной плоскости. На карусели размещены носители, в которых закреплены подложки. Обработка изделий производится в горизонтальной плоскости, материал распыляется снизу вверх. При двусторонней обработке во время вращения карусели специальное устройство поочереди поворачивает носитель с закрепленным в нем изделием на 180˚ относительно своей оси.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Количество подложек обрабатываемых за 1 цикл |
12 шт. Ø100 мм. 24 шт. 60х48 (без переворота) |
Автономное управление заслонками на всех позициях напыления |
|
Расход подаваемых в камеру рабочих газов по одному каналу, л/час |
0 ÷ 9 |
Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт. |
до 3 |
Количество устройств очистки изделий, шт. |
1 |
Возможна установка термических испарителей, шт. |
до 3 |
Возможна установка магнетронов, шт. |
до 5 |
Тип магнетронов для напыления пленок |
Импульсный среднечастотный |
Рабочий ток магнетронов регулируемый, А |
до 7 |
Рабочее напряжение магнетронов, В |
до 650 |
Размер мишеней (могут использоваться составные мишени не прямого охлаждения), мм. |
Ø100х4÷12 |
Допустимое давление в камере при работе магнетронов, Па |
0,07÷0,3 |
Предусмотрен вариант напыления на охлаждаемую подложку с подачей смещения 100 КГц, мощность генератора смещения до 1 КВА |
опция |
Диапазон контроля сопротивления свидетеля, кОм |
0,2÷20 |
Погрешность измерения сопротивления, % |
±1 |
Предусмотрен вариант установки кварцевого измерителя толщины |
опция |
Рекомендуемая температура нагрева подложек, °С (max 300°С) |
50÷250 |
Нестабильность температуры подложек, % |
±5 |
Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па |
8х10-4 |
Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. |
120 |
Габаритные размеры агрегата технологического «Caroline D12A» (ширина × глубина × высота) с поднятой камерой, мм. |
1450×1650×2689 |
Масса со стойкой питания и управления, кг. |
До 1850 |