Количество подложек обрабатываемых за 1 цикл

12 шт. Ø100 мм.

24 шт. 60х48

(без переворота)

Автономное управление заслонками на всех позициях напыления

Расход подаваемых в камеру рабочих газов по одному каналу, л/час

0 ÷ 9

Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт.

до 3

Количество устройств очистки изделий, шт.

1

Возможна установка термических испарителей, шт.

до 3

Возможна установка магнетронов, шт.

до 5

Тип магнетронов для напыления пленок

Импульсный среднечастотный

Рабочий ток магнетронов регулируемый, А

до 7

Рабочее напряжение магнетронов, В

до 650

Размер мишеней (могут использоваться составные мишени не прямого охлаждения), мм.

Ø100х4÷12

Допустимое давление в камере при работе магнетронов, Па

0,07÷0,3

Предусмотрен вариант напыления на охлаждаемую подложку с подачей смещения 100 КГц, мощность генератора смещения до 1 КВА

опция

Диапазон контроля сопротивления свидетеля, кОм

0,2÷20

Погрешность измерения сопротивления, %

±1

Предусмотрен вариант установки кварцевого измерителя толщины

опция

Рекомендуемая температура нагрева подложек, °С (max 300°С)

50÷250

Нестабильность температуры подложек, %

±5

Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па

8х10^-4

Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин.

120

Габаритные размеры агрегата технологического «Caroline D12A» (ширина × глубина × высота) с поднятой камерой, мм.

1450×1650×2689

Масса со стойкой питания и управления, кг.

До 1850