Автоматизированная установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления Caroline D12A
Назначение:
Вакуумно-технологическая установка «CarolineD12А» предназначена для магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления на керамические, кремниевые, ситаловые и другие плоские (толщина не более 30 мм.) подложки Ø до 100 мм.
Мишени на магнетронах располагаются горизонтально. Над ними располагается карусель, вращающаяся в горизонтальной плоскости. На карусели размещены носители, в которых закреплены подложки. Обработка изделий производится в горизонтальной плоскости, материал распыляется с низу вверх.
Установка может быть укомплектована любым набором технологических устройств на пяти рабочих позициях: магнетрон (от 1-го до 5-ти шт.), источник ионов (для предварительной очистки и травления подложек), термический испаритель и устройство ионного распыления (занимает две позиции).
|
Количество подложек обрабатываемых за 1 цикл |
12 шт. Ø100 мм. 24 шт. 60х48 (без переворота) |
|
Предусмотрен визуальный контроль в позициях термических испарителей |
|
|
Автономное управление заслонками на всех позициях напыления |
|
|
Расход подаваемых в камеру рабочих газов по каждому каналу, л/час |
0 ÷ 9 |
|
Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт. |
до 3 |
|
Количество устройств очистки изделий, шт. |
1 |
|
Возможна установка термических испарителей, шт. |
до 3 |
|
Возможна установка магнетронов, шт. |
до 5 |
|
Тип магнетронов для напыления пленок |
Импульсный среднечастотный |
|
Рабочий ток магнетронов регулируемый, А |
до 7 |
|
Рабочее напряжение магнетронов, В |
до 650 |
|
Размер мишеней (могут использоваться составные мишени не прямого охлаждения), мм. |
Ø100х4÷12 |
|
Допустимое давление в камере при работе магнетронов, Па |
0,07÷0,3 |
|
Предусмотрен вариант напыления на охлаждаемую подложку с подачей смещения 100 КГц, мощность генератора смещения до 1 КВА |
опция |
|
Диапазон контроля сопротивления свидетеля, кОм |
0,2÷20 |
|
Погрешность измерения сопротивления, % |
±1 |
|
Предусмотрен вариант установки кварцевого измерителя толщины в любой позиции напыления |
опция |
|
Рекомендуемая температура нагрева подложек, °С (max 300°С) |
50÷250 |
|
Нестабильность температуры подложек, % |
±5 |
|
Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па |
8х10-4 |
|
Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. |
120 |
|
Габаритные размеры агрегата технологического «Caroline D12A» (ширина × глубина × высота) с открытой крышкой, мм. |
1315×1430×2100 |
|
Масса со стойкой питания и управления, кг. |
до 1850 |
