Автоматизированная шлюзовая установка плазмохимического и ионнохимического травления Caroline PE15

Назначение:

Установка полностью автоматизированного управления с поштучной обработкой пластин диаметром до 200 мм. снабжена генератором плазмы высокой плотности (патент РФ № 2 171 555) со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13,56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы.

Конструкция генератора плазмы и стола травления позволяют получать на обрабатываемых подложках потоки ионов 5÷10 мА/см.² и более с регулируемой генератором смещения подложки энергией от 20 до 300 э.В. и более.

Для улучшения теплоотвода от подложки предусмотрен так называемый «гелиевый теплоотвод», который подразумевает подачу гелия между подложкой и поверхностью стола, что позволяет поддерживать небольшой перепад температур между поверхностью электрода и подложки.

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ/ПАРАМЕТРЫ

 

Количество и размер подложек обрабатываемых за 1 цикл,	1шт. до Ø 200 6шт. 60х48
Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па	8х10-4
Время полного обезгаживания, мин.	200
Давление в шлюзе загрузки-выгрузки, Па	2
Время перезагрузки пластин из шлюза в рабочую камеру, мин.	2
Количество каналов рабочих газов, шт.	4
Количество каналов для работы с агрессивными газами (Cl2 SiCl4 и т.д.), шт.	до 4
Расход подаваемых в камеру рабочих газов по каждому каналу, л/час	0÷18
ВЧ мощность, подаваемая на антенну генератора плазмы	100:900 Вт, 13,56 МГц
Частота напряжения смещения	13,56 МГц
Мощность смещения, подаваемая на столик, Вт	до 900
Равномерность на Ø 150 мм. при травлении SiO2 , %	±3
Диапазон рабочих давлений, Па	9·10-2..9·100
Габаритные размеры агрегата технологического (ширина × глубина × высота) с открытой крышкой, мм.	1450х1385х1830
Масса со стойкой питания и управления, кг.	до 1600 кг