Автоматизированная установка двустороннего магнетронного напыления Caroline D12B2
Вакуумно-технологическая установка «CarolineD12B1» предназначена для магнетронного нанесения упрочняющих, коррозионно-стойких, декоративных покрытий на изделия, такие как лопатки турбин, инструменты, корпуса и прочее. Установка имеет 20 позиций вращения. Предельный размер изделий диаметром 80 мм. и длиной 400 мм.
В максимальной комплектации установка может быть укомплектована 4-я парами магнетронов для распыления любых материалов из мишеней размером 440х100х6÷15 мм.
Благодаря планетарной карусели можно наносить покрытия со всех сторон.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Количество подложек обрабатываемых за 1 цикл, шт. |
20 позиций Ø80 мм. высотой до 400мм. |
Автономное управление заслонками на всех позициях напыления |
|
Расход подаваемых в камеру рабочих газов по каждому каналу (л/час) |
0÷9 |
Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт. |
3 |
Количество устройств ионной очистки изделий |
1 |
Допустима работа источника ионов совместно с магнетроном на смеси газов |
опция |
Возможна установка магнетронов, пар |
до 4 |
Тип магнетронов для напыления пленок |
Импульсный среднечастотный |
Рабочий ток магнетронов регулируемый, А |
3÷30 |
Рабочее напряжение магнетронов, В |
до 650 |
Размер мишеней (могут использоваться составные мишени не прямого охлаждения), мм. |
440х100х6÷15 |
Допустимое давление в камере при работе магнетронов (Па) |
0,07÷0,3 |
Мощность генератора смещения, КВА |
4 |
Предусмотрен вариант напыления на охлаждаемую подложку с подачей смещения 100 КГц |
100÷1000 В |
Рекомендуемая температура нагрева подложек, °С (при подаче смещения может достигать max 700°С) |
50÷250 (350 опция) |
Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па |
8х10-4 |
Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. |
120 |
Габаритные размеры агрегата технологического /ширина × глубина × высота/ с поднятой камерой, мм. |
2350×2000×2980 |
Масса со стойкой питания и управления, кг. |
до 2500 |