Автоматизированная установка магнетронного напыления Caroline D12С
Назначение:
Вакуумно-технологическая установка «CarolineD12С» предназначена для магнетронного напыления на любые плоские (толщина не более 30 мм.) подложки Ø до 150 мм. (максимальная плоскость обрабатываемых изделий 150х650 мм).
Данная установка предназначена для серийного производства больших объемов. Магнетроны (от 1 до 4-х шт.) устанавливаются внутри барабана. Напыление ведётся, вертикально распыляя материал на внутреннюю сторону носителей вращающихся на барабане.
Установка комплектуется магнетронами от одного до четырёх штук для распыления любых материалов, будь то резистивные сплавы, Cu, Cr, Ni, Al и т.п.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Количество и размер подложек обрабатываемых за 1 цикл, шт. |
96 шт. Ø100 мм. 176 шт. 60х48мм. |
Автономное управление заслонками на позициях напыления |
|
Расход подаваемых в камеру рабочих газов по одному каналу (л/час) |
0÷9 |
Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт. |
до 3 |
Количество устройств ионной очистки изделий |
1 |
Допустима работа источника ионов совместно с магнетроном на смеси газов |
|
Возможна установка магнетронов, шт. |
до 4 |
Тип магнетронов для напыления пленок |
Импульсный среднечастотный |
Рабочий ток магнетронов регулируемый, А |
0,5÷15 (30-опция) |
Рабочее напряжение магнетронов, В |
до 650 |
Размер мишеней (могут использоваться составные мишени не прямого охлаждения), мм. |
749х100х6÷15 |
Допустимое давление в камере при работе магнетронов, Па |
0,07÷0,3 |
Мощность генератора смещения, КВА |
4 |
Предусмотрен вариант напыления на охлаждаемую подложку с подачей смещения 100 КГц |
опция |
Диапазон контроля сопротивления свидетеля кОм) |
0,2÷20 |
Погрешность измерения сопротивления, % |
±1 |
Рекомендуемая температура нагрева подложек, °С (max 300°С) |
50÷250 |
Нестабильность температуры подложек, % |
±5 |
Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па |
8х10-4 |
Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. |
120 |
Габаритные размеры агрегата технологического (ширина × глубина × высота) с поднятой камерой, мм |
1450х1660х3130 |
Масса со стойкой питания и управления, кг. |
до 1850 |