Источники ионов протяженные серии ИП
Источники ионов протяженные серии ИП предназначены для травления образцов ионами инертных или химически активных газов.
Чаще всего источники ионов применяются в вакуумном технологическом оборудовании для предварительной ионной очистки образцов перед магнетронным или термическим напылением. Ионная очистка позволяет стравливать неорганические загрязнения в среде аргона или органические в среде кислорода.
Источники ионов выполнены из немагнитной и магнитной нержавеющих сталей с изоляторами из фторопласта.
Рабочее давление ионных источников, как правило, находится в диапазоне от 5х10-2 Па до 1х10-1 Па.
Применение
Источники ионные протяженные применяются в вакуумном технологическом оборудовании для предварительной ионной очистки изделий в установках Caroline D12A, Caroline D12A1, Caroline D12B, Caroline D12B1, Caroline D12B2, Caroline D12B3, Caroline D12C и Solvac D19.
Так же источники ионов протяженные применяются в установках ионного травления Caroline IE12.
Установка и монтаж
Источники ионов устанавливаются в вакуумное оборудование при помощи монтажных комплектов.
При необходимости мы можем разработать и изготовить монтажный комплект, для установки ионного источника в Ваше технологическое оборудование.
Дополнительно мы можем провести модернизацию оборудования (УВН-71, УВН-74 и т.д.) с добавлением ионной очистки, включающую: установку ионного источника необходимого размера, установку и подключение блока питания ионного источника, проверка работы ионной очистки и обучение персонала.
