Магнетроны протяженные серии МП
Магнетроны протяженные серии МП применяются для распыления мишеней прямоугольной формы из металлов (в том числе магнитных) и диэлектриков. Магнетроны изготовлены из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Для формирования сильных магнитных полей используются магниты на основе сплава NdFeB.
Магнетрон сконструирован таким образом, что охлаждающая жидкость системы охлаждения магнетрона контактирует лишь с мишенедержателем, выполненным из меди и нержавеющими частями корпуса. Взаимодействие магнитов или других, подверженных коррозии, частей магнетрона с охлаждающей жидкостью исключено, что значительно увеличивает срок службы магнетрона по сравнению с магнетронами протяженными серии 479.
В данном магнетроне могут использоваться мишени прямого и косвенного охлаждения. Конструкция мишенедержателя и прижимных планок позволяет быстро производить замену мишеней.
Мишени косвенного охлаждения охлаждаются через мишенедержатель, который охлаждается водой. Такие мишени имеют более простую конструкцию в виде листа определенного размера.
Мишени прямого охлаждения устанавливаются исключая мишенедержатель и охлаждаются непосредственно водой, что позволяет лучше охлаждать мишень и работать на больших мощностях и меньшим нагревом изделий в процессе напыления.
| Наименование | Тип | L, мм | Мишень | Тип охлаждения | Трубки охлаждения | Мощность, кВт | Магнитная система | ||
| ДхШ, мм | В, мм | DC | RF | ||||||
| МП-440 | Сбалансированный (С) Разбалансированный (Р) Магнитный (М) |
480 | 440х100 | 4-16 | Прямой или косвенный | 10/8 мм | 10 | 3 | На Атмосфере |
| МП-748 | 787 | 748х100 | 14 | 4,5 | |||||
| МП-957 | 989 | 957х100 | 18 | 6 | |||||
Примечание: выбор мощности распыления зависит от материала мишени, в частности, от температуры плавления.
Применение
Магнетроны прямоугольные применяются в вакуумных технологических установках магнетронного напыления Caroline D12B, Caroline D12B1, Caroline D12B2, Caroline D12B3 и Caroline D12C начиная с 2015 года, а так же в установках серии Solvac D19.
Установка и монтаж
Для магнетронов протяженных разработаны несколько монтажный комплектов, которые позволяют устанавливать их на плиту или в дверь рабочей камеры.
Мы так же можем разработать для Вас монтажный комплект и встроить данные магнетроны в Ваше технологическое оборудование.
Так же можем провести модернизацию Вашей установки (УВН-71, УВН-74 и т.д.) с установкой магнетронов (заменой испарителей) их подключением, установкой блоков питания магнетронов и наладкой их работы.
