Магнетроны
Наш
а компания разрабатывает, изготавливает и обслуживает магнетроны для распыления металлов и сплавов, а так же керамик в вакуумном технологическом оборудовании.
У нас имеется опыт разработки магнетронных распылительных систем, их эксплуатации и ремонта. Мы применяем магнетронные распылительные системы в своем вакуумном технологическом оборудовании.
Так же мы предлагаем модернизировать оборудование с термическим испарением под магнетронное напыление.
Типы магнетронов
В номенклатуре нашей компании насчитывается несколько десятков магнетронов отличающихся по типам охлаждения мишеней, способам установки, материалам распыляемых мишеней, геометрии мишеней и т.д.
Наиболее актуальными можно выделить два типа магнетронов выпускаемых нашей компанией
Магнетроны протяженные серии МП Магнетроны круглые серии МК
Справка по магнетронному напылению
Магнетронное распыление — технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью катодного распыления мишени в плазме магнетронного разряда — диодного разряда в скрещённых полях. Технологические устройства, предназначенные для реализации этой технологии, называются магнетронными распылительными системами или, сокращённо, магнетронами (не путать с магнетронами — устройствами, предназначенными для генерации СВЧ колебаний).
Подробнее о магнетронном напылении можно почитать, например, в Википедии здесь.
Магнетронный способ нанесения пленок стал известен в Советском Союзе еще в 70х годах. Но широкое распространения получил уже только в современной России.
В начале 2000х годов наша компания начала производить модернизацию установок УВН-71 и УВН-74 с целью замены существующих термических испарителей на магнетроны. До этого в установках УВН-75 магнетроны использовались в качестве насосов.
В 2003 году была открыта компания (тогда еще ООО "ЭСТО-Вакуум"), в которой были разработаны одни из первых отечественные установки магнетронного напыления серии Caroline.
Первая серия установок магнетронного напыления называлась Каролина Д10.