Магнетроны круглые серии МК
Магнетроны круглые серии МК применяются для распыления мишеней цилиндрической формы из металлов и диэлектриков. Магнетроны изготовлены из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Для формирования сильных магнитных полей используются магниты на основе сплава NdFeB.
Магнетрон сконструирован таким образом, что охлаждающая жидкость системы охлаждения магнетрона контактирует лишь с мишенедержателем, выполненным из меди и нержавеющими частями корпуса. Взаимодействие магнитов или других, подверженных коррозии, частей магнетрона с охлаждающей жидкостью исключено, что значительно увеличивает срок службы магнетрона по сравнению с магнетронами круглыми серии Д100.
|
Наименование |
Тип |
Мишень |
Тип фланца |
Трубки системы охлаждения |
Режим работы |
Среда расположения магнитной системы |
|||
|
Диаметр |
Толщина |
DC, Вт |
RF, Вт |
||||||
|
МК-25 |
Сбалансированный |
C |
25мм (1") |
1,6мм-3,2мм |
CF16 |
4/2 мм |
75 |
50 |
Вода |
|
МК-50 |
Сбалансированный |
С |
50мм (2") |
1,6мм-3,2мм |
6/4 мм |
300 |
150 |
Атмосфера |
|
|
МК-76 |
Сбалансированный |
С |
76мм (3") |
700 |
300 |
||||
|
МК-102 |
Сбалансированный |
С |
100мм (4") |
1250 |
600 |
||||
Применение
Магнетроны круглые серии МК применяются в вакуумных технологических установках Caroline D12A и Caroline D12A1 начиная с 2014 года выпуска, а так же в установках Irida D21A.
Установка и монтаж
Комплект монтажный для магнетрона круглого КММК-1
Монтажный комплект КММК-1 предназначен для монтажа магнетрона в отверстие с уплотнением по трубе диаметром 18 мм.
Мы можем так же изготовить необходимый монтажный комплект (переходник) для Вашего фланца и встроить магнетрон данной серии в Ваше оборудование.
