Помимо производства тонких пленок для гибридных микросхем в нашей лаборатории ведутся работы по нанесению упрочняющих покрытий таких как:
- карбид титана и хрома
- нитрид титана и алюминия
- алмазоподобные покрытия.
- оксиды титана, хрома, циркония
Наиболее распространенным и отработанным в нашей лаборатории является покрытие из нитрида титана.