Источник ионов круглый серии ИК

Источник ионов круглый серии МК применяется для травления поверхности образца ионами инертных (аргона) или химически активных (кислорода) газов в вакуумном технологическом оборудовании.

Чаще всего источники ионов используются для предварительной очистки образцов перед напылением. Обработка ионами аргона позволяет стравить слой неорганических загрязнений, а очистка в кислороде позволяет стравливать органические загрязнения.

Данные источники ионов являются источниками щелевого типа. Изготавливаются из нержавеющей стали 12Х18Н10Т и магнитной нержавеющей стали, а так же изоляторов из фторопласта. Анод источника охлаждается водой.

Дополнительно в источнике ионов предусмотрены фитинги для подключения охлаждения корпуса источника.

Источник ионов работает на давлении 5х10^-2...1х10^-1 Па.

 

Применение

Источники ионов круглые применяются для ионной очистки в установках Irida D21A и Caroline D15 производства компании ООО "РУ-ВЭМ".

 

Установка и монтаж

Для монтажа источник ионов оснащен фланцем CF16, к которому мы можем разработать и изготовить любой необходимый переходник для установки в Ваше оборудование.

Так же мы можем выполнить модернизацию Вашей установки с монтажом ионного источника и блока питания к нему, с обучением персонала.