Установка плазмохимического травления Irida PE21  

Установка Irida PE21 предназначена для плазмохимического травления подложек диаметром до 200мм.

Irida PE21 обеспечивает травление кремнийсодержащих слоев (оксиды, нитриды, поликремний, КНС, монокристаллический кремний), кварцевые подложки, пьезокварц со скоростями до 1 мкм/мин с хорошим качеством поверхности на глубину более 250 мкм.

Травление арсенида галлия, нитрида галлия, и других сложных полупроводников.

Травление алюминия, меди, золота, серебра, платины и многих других материалов ионным распылением

Благодаря тонкому разделительному кварцевому стеклу, электромагнитной резонансной системе и системе магнитной изоляции плазмы генератор плазмы спирального типа имеет высокий коэффициент преобразования энергии, что позволяет использовать ВЧ генератор относительно небольшой мощности и обеспечивает горение плазмы как на высоких, так и на низких давлениях.

Irida PE21 может использоваться как одиночная установка, оснащенная шлюзовым устройством с поштучной загрузкой подложек, так и в составе кластерного комплекса, содержащего до 4 технологических модулей и систему загрузки из кассеты в кассету.

Irida PE21 оснащена встроенными лифтами для верхней и нижней крышек рабочей камеры для удобства обслуживания.

Электрооборудование Irida PE21 полностью размещено на технологическом агрегате, что упрощает монтаж-демонтаж установки, повышает надежность и удобство размещения на предприятии.

 

Эксплуатационные требования

 

Потребляемая мощность:	3х380 V ± 5%, 32A/phase, 50 Hz/ 60 Hz, N, G
Сжатый воздух	6 кг/см2
Азот	2 кг/см2 25 литров на процесс
Охлаждающая вода	3-4 кг/см2, 12 л/мин
Выхлоп	DN 40 KF (рабочие газы) D 80 мм (газовый шкаф)
Информация для заказа

 

Irida PE21	Установка плазмохимического травления с системой шлюзовой загрузки
Irida PE21K	Модуль плазмохимического травления для интеграции в кластерную установку
MAXIMA 2600	Четырехпортовая перегрузочная система с двумя кассетными станциями