Установка магнетронного напыления Irida D21A

 

Установка Irida D21A позволяет наносить на подложку диаметром до 200мм покрытия путем магнетронного распыления мишеней из электропроводных материалов, а так же диэлектрических в случае использования высокочастотных блоков питания. Поддерживается режим реактивного распыления. Поочередно в одном технологическом цикле могут использоваться четыре магнетрона.

Четыре магнетрона установленные на крышке камеры могут перемещаться от стенки камеры к ее центру с помощью электроприводов. В парковочном положении у стенки камеры магнетроны могут закрываться индивидуальными управляемыми заслонками. Магнетрон, совершающий напыление, двигается от стенки камеры к центру и обратно. Подложка при этом находится на вращающемся столе. Управляя скоростью магнетрона и стола, мы управляем равномерностью нанесения пленки. Могут применяться магнетроны с мишенями 1, 2 и 3 дюйма, в зависимости от ваших приоритетов: стоимость мишени или скорость напыления. Рабочий стол вращающийся, нагреваемый с вертикальным лифтом.

Irida D21A может использоваться как одиночная установка, оснащенная шлюзовым устройством с поштучной загрузкой подложек, так и в составе кластерного комплекса, содержащего до 4 технологических модулей и систему загрузки из кассеты в кассету.

Irida D21A для удобства обслуживания оснащена встроенными лифтами для верхней и нижней крышек рабочей камеры.

Электрооборудование установки Irida D21A полностью размещено на технологическом агрегате, что позволяет не использовать отдельный шкаф, упрощает монтаж-демонтаж установки повышает надежность и удобство размещения на предприятии.

Эксплуатационные требования

 

Потребляемая мощность:	3х380 V ± 5%, 32A/phase, 50 Hz/ 60 Hz, N, G
Сжатый воздух	6 кг/см2
Азот	2 кг/см2 25 литров на процесс
Охлаждающая вода	3-4 кг/см2, 12 л/мин
Выхлоп	DN 40 KF (рабочие газы) Ø 80 мм (газовый шкаф)
Информация для заказа

 

Irida PE21	Установка плазмохимического травления с системой шлюзовой загрузки
Irida PE21K	Модуль плазмохимического травления для интеграции в кластерную установку
MAXIMA 2600	Четырехпортовая перегрузочная система с двумя кассетными станциями