Парк оборудования фотолитографии включает в себя следующее оборудование:

• Два химически стойких шкафа с раковиной, конвекционной печью и вытяжкой
• Два модуля с центрифугами и нагревательными плитами Easyline EL SH 200SM
• Один модуль с центрифугой и нагревательной плитой QH SH 200SM
• Установка экспонирования ЭМ-576АМР
• Установка обеспыливания типа Лада 
• Шкафы сухого хранения
• Ультразвуковая ванна

Имеющееся в лаборатории фотолитографии оборудование позволяет обрабатывать подложки диаметром до 200 мм с разрешением не менее 5 мкм.