О компании

ООО РУ-ВЭМ – российский разработчик, работающий по направлению вакуумная техника и технологии для микроэлектроники.

В рамках данного направления осуществляется полный цикл работ (проектирование, производство, сервис) по изготовлению вакуумных технологических установок напыления (магнетронного, термического, электронно-лучевого), плазмохимического осаждения, плазмохимического травления, ионного травления. Компания выпускает как серийное вакуумное оборудование, так и выполняет заказы на оборудование по ТЗ заказчика. На предприятия заказчика поставлено и введено в эксплуатацию более 100 единиц оборудования.

Помимо выпуска нового оборудования, наша компания выполняет модернизацию физически и морально устаревшего оборудования применяемого в производстве микроэлектроники. Например, установок УВН-71, УВН-74, Оратория-9 и других.

Также, компания РУ-ВЭМ оказывает услуги отработки технологий и мелкосерийного производства в собственном технологическом центре. На предприятии имеется оборудование для выполнения следующих технологических операций: фотолитографии, магнетронного напыления и ионного травления, измерений. За время существования технологического центра выполнены работы более чем по 180 различным проектам, проведено более 4 тысяч операций, выпущено несколько тысяч изделий.