Помимо производства тонких пленок для гибридных микросхем в нашей лаборатории ведутся работы по нанесению упрочняющих покрытий таких как:

  • карбид титана и хрома
  • нитрид титана и алюминия 
  • алмазоподобные покрытия.
  • оксиды титана, хрома, циркония 

Наиболее распространенным и отработанным в нашей лаборатории является покрытие из нитрида титана.