Не менее значимыми при производстве интегральных схем являются резистивные слои.

В нашей лаборатории мы наносим пленки с любым удельным сопротивлением из любого резистивного сплава: РС-3710, 5406, 1004, 5402 и т.д.

Имеющиеся установки нанесения серии Каролина имеют в своем составе свидетели сопротивления для остановки процесса по показаниям прибора.

Помимо металлизации и резистивных слоев мы можем наносить диэлектрические слои из оксидов кремния, алюминия и другие.

В лаборатории реализованы два способа нанесения диэлектрических пленок: реактивный магнетронный способ и распыление готовых диэлектрических мишеней при помощи ВЧ.