Следующая задача, которая была решена в нашей лаборатории это нанесение прозрачного проводящего покрытия из оксида индий олова на образцы из поликарбоната.

Были получены образцы с удельным сопротивлением от 200 Ом/кв и относительным светопропусканием до 90%.

Помимо слоя оксида индий олова на подложку через маску были нанесены дорожки из титана.

Образцы с данным покрытием применяются в плоскопараллельных свето и рентгенопрозрачных ионизационных камерах.

 

Помимо однослойного ИТО в нашей лаборатории были получены образцы с многослойной структурой ИТО-Серебро-ИТО с удельным сопротивлением менее 10 ом на кв.

Суммарная толщина полученного покрытия составляла менее 100 нм.

При этом от партии к партии выдерживалась толщина покрытия с точностью до нескольких нм.

Данные покрытия обладают хорошей прозрачностью при низких параметрах удельного сопротивления. Благодаря низким толщинам данные покрытия практически не проявляют интерференционных эффектов.